Rasterelektronenmikroskop (REM)

Mit dem Rasterelektronenmikroskop sind unterschiedliche Analyseverfahren möglich. An dieser Stelle wird nur die Funktion als Mikroskop in der Analyse dargestellt. Aufgrund der geringen Wellenlänge des Elektronenstrahls sind Vergrößerungen bis zu 300.000-fach möglich. Die Auflösung liegt bei 5,0 nm, damit können Mikrorisse, Oberflächendefekte und Materialfehler aufgelöst werden. Ein weiterer großer Vorteil des Rasterelektronenmikroskops ist die große Tiefenschärfe der Abbildungen.