Die Materialanalyse erfolgt im Rasterelektronenmikroskop mit Energie dispersiver Röntgen Spektroskopie (EDS/EDX) der Firma Zeiss. Dazu wird zur Anregung der Röntgenstrahlung der Elektronenstrahl des Rasterelektronenmikroskops verwendet. Die Röntgenstrahlung (charakteristische Strahlung) wird entsprechend der Energie in einem Spektrum dargestellt. Jedes Element hat seine typischen Spektrallinien und daher können die Elemente eindeutig dem jeweiligen Spektrum zugeordnet werden. Mit dieser Methode sind Elemente, deren Atomgewicht höher ist als Kohlenstoff, zu identifizieren. Da als Röntgenanregungsquelle der Elektronenstrahl verwendet wird, können sehr kleine Strukturen untersucht werden.
Das Bild zeigt die Oberfläche einer Leiterplatte. Diese Leiterplatte ist ausgefallen, da sich leitfähige Brücken zwischen einzelnen Lötstellen gebildet haben. Die Elementzusammensetzung dieser Brücken wurde mittels EDS bestimmt. Das Bild zeigt eine Lötstelle, von der aus sich eine leitfähige Brücke ausgebildet hat.
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