Materialanalyse (EDS/EDX)
Die Materialanalyse erfolgt im Rasterelektronenmikroskop mit Energie dispersiver Röntgen Spektroskopie (EDS/EDX) der Firma Zeiss. Dazu wird zur Anregung der Röntgenstrahlung der Elektronenstrahl des Rasterelektronenmikroskops verwendet. Die Röntgenstrahlung (charakteristische Strahlung) wird entsprechend der Energie in einem Spektrum dargestellt. Jedes Element hat seine typischen Spektrallinien und daher können die Elemente eindeutig dem jeweiligen Spektrum zugeordnet werden. Mit dieser Methode sind Elemente, deren Atomgewicht höher ist als Kohlenstoff, zu identifizieren. Da als Röntgenanregungsquelle der Elektronenstrahl verwendet wird, können sehr kleine Strukturen untersucht werden.
Das Bild unten zeigt die Oberfläche einer metallischen Probe mit Kontaminationen. Die Elementzusammensetzung dieser Kontaminationen wurde mittels EDS/EDX bestimmt und wird in Form eines Spektrums und der Gewichtsverteilung dargestellt. Beim EDX Mapping, wie unten dargestellt, wird die Verteilung der Elemente ortsabhängig dargestellt. Neben Flächenmessungen sind auch Linien Scans und Punkt Scans möglich.
Oberfläche einer metallischen Probe.
EDX Spektrum: Detektierte Elemente der Oberfläche einer metallischen Probe (Counts über Energie in keV).
Element Verteilung in Gewichtsprozent.
EDX Mapping: Überlagerung der Information der Element Position und des REM Bildes.
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