MATERIALANALYSE (EDAX)

Die Materialanalyse erfolgt im Rasterelektronenmikroskop mit einem sogenannten Energy Dispersive X-Ray System (EDX) der Firma EDAX. Dazu wird zur Anregung der Röntgenstrahlung der Elektronenstrahl des Rasterelektronenmikroskops verwendet. Die Röntgenstrahlung (charakteristische Strahlung) wird entsprechend der Energie in einem Spektrum dargestellt. Jedes Element hat seine typischen Spektrallinien und daher können die Elemente eindeutig dem jeweiligen Spektrum zugeordnet werden. Mit dieser Methode sind Elemente, deren Atomgewicht höher ist als Kohlenstoff, zu identifizieren. Da als Röntgenanregungsquelle der Elektronenstrahl verwendet wird, können sehr kleine Strukturen untersucht werden.